二手 ULVAC SV-9040-T14 #9055121 待售

ULVAC SV-9040-T14是一種高性能濺射設備，設計用於生產包括半導體、太陽能電池和平板顯示器生產在內的一系列行業的高質量薄膜。它是一個先進的濺射系統，融合了多目標單元能力、高生產率和大基板上薄膜的高均勻性等特點。該機采用由四個14英寸目標組成的多目標設計，可精確控制濺射塗層工藝。目標以C形圖樣排列，以確保膜在基板上的最佳均勻性。此外，該工具在尺寸達300毫米的基板上提供高達2800 nm/min的高沈積速率。該資產還能夠對薄膜進行有效的重新濺射，為保持所需的塗層水平提供了理想的方法。SV-9040-T14結合了堅固的結構和精確的工程設計，提供了可靠的濺射模型，具有出色的位置精度、溫度穩定性和過程一致性。該設備配有強大的射頻電源系統，可對濺射沈積過程進行最佳控制，並利用可編程基板支架進行精確可靠的濺射沈積。該單元還包括一個自動化操作模塊，允許用戶自動化諸如濺射蝕刻、退火和濺射沈積等復雜過程。該模塊具有高度可定制和用戶友好的特點,允許用戶輕松修改流程參數以滿足其要求。該機進一步配備了高質量的安全特性，保證了安全生產運行。ULVAC SV-9040-T14是高精度濺射高質量薄膜的理想選擇,適用於廣泛的行業。這種濺射工具能夠高速生產高質量的薄膜，具有均勻性、精確度和可靠性。它的自動化能力、多目標設計和堅固的構造使SV-9040-T14成為要求苛刻的濺射應用程序的理想選擇。