二手 ULVAC ULDIS-200UCP #9266626 待售

ULVAC ULDIS-200UCP是一種高性能的磁控管濺射設備，提供穩定和高質量的濺射過程。它由直徑200毫米、外徑大、濺射均勻的6目標構型組成。其優化的等離子體產生技術和先進的陰極材料技術，使得低應力和低變形濺射，確保穩定和可靠的重復過程。ULDIS-200UCP具有高精度的三角形目標旋轉系統和6軸機器人斬波器。此外，其開放式腔室設計和高效的幹式5級過濾裝置可以改善沈積均勻性，即使在形狀復雜的基板上也是如此。它還有一個高精度的閉環溫控機，允許精確的溫度控制。ULVAC ULDIS-200UCP還具有多過程支持結構，可以協調控制過程壓力範圍和真空範圍。這使得它成為一個高效的機器濺射應用，如薄膜沈積。此外,它的Auto-Tuning工具可以獨立調整每個目標的過程參數,從而實現優化和穩定的濺射性能。此外，這一資產有一個綜合的能源回收機制，可以回收產生的濺射粒子並加以再利用，從而減少浪費和降低成本。該型號還具有內置溫度警報、壓力檢測傳感器、過載保護等最先進的安全功能。此外,它的高級軟件套件允許用戶監視、控制和管理流程參數,以自定義濺射流程。總之，ULDIS-200UCP是一種具有獨特特點的先進、可靠的濺射設備，具有穩定、高質量的濺射工藝。它的多過程支持結構允許精確和經濟高效的濺射，其能量回收機制允許高效的過程。它還具有全面的安全功能和可定制的濺射過程,以滿足每個用戶的需求。