二手 ULVAC ULDIS-900-CHL #9113738 待售

ULVAC ULDIS-900-CHL是一種高性能磁控管濺射設備，專為薄膜沈積、OLED顯示原型、光學塗層等多種應用而設計。這種濺射系統采用了獨特的緊湊配置，結合了強大的磁場和超高真空技術，實現了單個源濺射單元中可用的最高沈積速率。ULDIS-900-CHL使用Quadpol型多磁控器星團濺射源,可以精確控制目標材料的運動分布。該機允許多層或多組分薄膜沈積，最多4個磁控管獨立操作和組合。每個磁控管都配有強大的磁鐵，以產生高密度的等離子體。ULVAC ULDIS-900-CHL還包含一個強大的氣體放電源，以實現均勻的高速率等離子體，從而產生精確的光學特性的沈積。ULDIS-900-CHL機械臂的設計使樣品支架能夠精確地自動移動。該工具可以在濺射過程中精確移動和定位樣品支架，允許多步塗層工藝或復雜塗層只需一步。此外，該資產還支持各種基板的可自定義基板持有者，包括扁平基板、圓柱形基板和彎曲基板。該模型的其他特點，如計算機控制操作、用戶友好的圖形用戶界面、實時配方控制以及擴展選項，使其成為多層或多組分薄膜沈積的強大且用戶友好的工具。因此，這種濺射設備非常適合工業生產薄膜和光學塗層。