二手 ULVAC ULDIS-900-CHL #9395811 待售

ULVAC ULDIS-900-CHL是一種革命性的濺射設備，使用戶能夠實現沈積速率很高的均勻薄膜。這種PVD（物理氣相沈積）系統被用於一系列行業，包括半導體、顯示器和光學應用。該裝置采用高功率直流和「真雙射頻」濺射技術,效率極高,產量最大。這種雙重頻率允許更大的沈積能量，從而增加電離，從而有助於改善濺射材料的均勻性和覆蓋面。ULDIS-900-CHL主室的設計具有很高的空間均勻性，保證了膜層在整個基板上的一致性。它還包含一個高吞吐量傳輸機器人與模塊同時處理多達三塊基板。它還提供了「部件過程控制」選項,允許在整個沈積過程中監控每個批次的一致性,從而消除影片中的差異。ULVAC ULDIS-900-CHL具有渦流預清潔和後清潔,以及內置冷卻系統,可幫助控制腔室內的溫度,同時保持穩定的壓力。這樣可以防止腔室內的粒子過度勞累，並允許更快的周轉時間。不銹鋼基座和腔室也耐腐蝕，具有防靜電的表面處理，防止沈積物粘在墻壁上。這進一步促進了高效運行,幾乎沒有停機時間。ULDIS-900-CHL臺機器還具有多種可選組件,包括自動基板尺寸檢測功能和針對不同沈積目標的各種蝕刻模塊。總體而言,ULVAC ULDIS-900-CHL是一種功能極其強大的PVD濺射工具,可提供具有前所未有沈積速率的最佳均勻薄膜。它提供了多種功能,使用戶能夠以更高的效率、準確性和安全性執行一系列流程。