二手 ULVAC ULDiS-900CH #9313966 待售

ULVAC ULDiS-900CH是一種用於薄膜高通量濺射沈積的濺射設備.該系統可以存放多種材料，在工藝參數和沈積速率方面給用戶很大的自由度。該單元由真空室和電源兩個主要部件組成，可實現直流和脈沖直流濺射放電。真空室是一個堅固、水冷的不銹鋼結構，帶有頂部負載通道，以及一個帶有石英或不銹鋼壁的矩形真空容器。腔室的標準底壓為1 × 10-6 Pa或更低，可在附加抽水的情況下達到10-9 Pa或更低。它還配備了冷藏冷庫和渦輪泵，以及一個集成的氣體入口和控制。電源機是一種緊湊的高速開關模式發電機，使用高頻脈沖進行陰極功率。該電源具有連續直流和脈沖直流濺射放電的能力，能夠有效地在目標上均勻沈積薄膜。它還可以提供高達50 W/cm2的功率密度,並具有可調的突發頻率。脈沖寬度和輸出電壓可根據要沈積的材料類型和工藝要求進行調節。ULDiS-900CH材料由可調節靜電卡盤和基於激光的觀察工具固定到位。此外，該資產具有自動晶片加載/卸載模塊，整個模型與一系列用於流程控制、數據采集和配方開發的軟件接口兼容。總體而言，ULVAC ULDiS-900CH濺射設備為高通量、大面積的薄膜濺射沈積提供了有效的解決方案。利用其可調電源系統、可調靜電卡盤、基於激光的觀察裝置和自動晶片裝卸模塊，提供了一種高效可靠的薄膜沈積方式。