二手 ULVAC Zi-1000 #9128730 待售

ULVAC Zi-1000是為高精度薄膜沈積而設計的最先進的多功能濺射設備。該系統采用超穩定閉環直驅式濺射技術，能夠精確控制沈積過程，在大表面上薄膜均勻性極佳。該裝置采用先進的直流或PF濺射技術，提供低濺射功率水平，允許沈積低阻力薄膜，產生雜質擴散或粗糙等最小的不良影響。先進的多目標五袋配置，具有最大的靈活性和較高的濺射速率穩定性。利用每個濺射位置的獨立電源，可以同步生產不同類型的薄膜；這對多層薄膜特別有益。強大的數字處理器使用戶可以輕松控制所有參數，執行統一且可重復的沈積。它還提供晶圓輪廓測量，以確保在一定的公差水平內精確的薄膜沈積。此外，先進的氣體控制機提供各種工藝氣體的精確混合物，以確保薄膜沈積的高均勻性。Zi-1000有一個集成的負載鎖定工具，可以在遙控或手動控制下引入多個基板，並在沈積過程中保護它們免受氧化。資產配有射頻偏置電壓發生器，可產生高達5kV的偏置電壓，用於各種沈積。ULVAC Zi-1000的卓越功能和靈活性使其成為研發實驗室以及工業應用的理想沈積模型。其先進的功能使用戶能夠快速生產具有出色均勻性、精確度、完整性和附著性能的薄膜。此外，其優越的設計允許快速、準確和可重復的沈積過程在各種各樣的基板。