二手 ULVAC Zi-1000 #9157922 待售

ULVAC Zi-1000
製造商
ULVAC
模型
Zi-1000
ID: 9157922
優質的: 1998
Sputtering system 1998 vintage.
ULVAC Zi-1000是一種基於ULVAC專利的先進低真空電弧(ALVA)技術的濺射設備。在較寬的工作壓力範圍內提供了較好的濺射均勻性和沈積速率控制.該系統由一個主室、一個射頻電源、一個ALVA電子槍、三個可旋轉的目標、一個護罩和一個真空泵組成。主室裝有四個端口,用於三個可旋轉目標,一個用於電子槍。射頻電源可提供高達1000瓦的功率,並且可以精確控制。ALVA電子槍有電子槍電源和控制板,以及一套線性和圓周運動的電子槍。它旨在減少沈積非均勻性。三個可旋轉的目標由鎢制成,厚度為5mm,能夠處理高達1000 °C的溫度。牠們的外徑為300毫米。護罩由鋁制成,用於沈積過程中含有等離子體,減少汙染。真空泵能夠實現低工作壓力,流量為每分鐘500升。該單元包括除塵器、真空閥、壓力表等各種配件。Zi-1000可實現最佳的表面光潔度、卓越的附著力和較低的表面粗糙度,以及出色的地形控制。它非常適合塗覆鋼、銅和鋁等堅硬的導電表面。該機具有厚膜高沈積速率、多目標精確控制地表地形、腐蝕性目標硬真空、精密沈積底物溫度低、運行時間長、功率效率高、廢棄物排放少等先進特點。總之,ULVAC Zi-1000是一種先進的濺射工具,在塗覆各種表面方面提供優異的性能。
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