二手 ULVAC Zi-1000 #9219049 待售

ULVAC Zi-1000是一個濺射設備，設計用於沈積薄膜的精度和均勻性。適用於廣泛的應用，包括半導體基板、太陽能電池、LED芯片等器件。濺射系統由真空室、濺射目標、視口、真空單元和電源組成。真空室由外焊接金屬外殼、內壁和陶瓷底座組成。其設計為空氣真空密封，以保持樣品上均勻的膜沈積。濺射目標是一個電極，通過施加高壓，有效濺射是可能的。檢視口允許觀察和控制進行中的薄膜沈積。該機配備渦輪分子泵、機械助推泵和渦輪分子阻力泵，提供5E-4 Pa的基本壓力和高通量。電源為高頻晶體管開關式模塊，為濺射提供可調功率，允許使用定制的脈沖參數。Zi-1000適用於金屬、氧化物和厚度均勻的化合物在平板基板上的沈積，廣泛應用於半導體器件的制造和應用。