二手 ULVAC Zi-1000 #9316186 待售

ULVAC Zi-1000
製造商
ULVAC
模型
Zi-1000
ID: 9316186
晶圓大小: 8"
Sputtering systems, 8" Type: Multi chamber.
ULVAC Zi-1000是一種用於在工業和學術實驗室中沈積材料薄膜的濺射設備。濺射系統用於制造各種材料和塗層,如金屬膜、玻璃層和超導膜等。Zi-1000濺射系統適合大批量生產,具有卓越的吞吐量和優質的可重復膠片。ULVAC Zi-1000濺射裝置基於先進的高性能直流和射頻磁控管濺射沈積機,具有集成的溫度控制功能。它帶有兩個磁控管濺射源,能夠產生較高的沈積速率來提高吞吐量。該工具旨在通過加速度計偏移滿足客戶的要求,以提供準確的層選擇和尺寸緩解。該資產還提供多種工藝氣體連接,允許用戶使用不同氣體沈積薄膜和塗層。Zi-1000型號有一系列高精度工藝設備,包括高端渦輪分子真空泵和冷卻塔。該設備采用兩級真空系統,結合高真空和渦輪泵,產生極低的基壓。過程變量的監控由具有觸摸屏界面的高級控制單元處理,方便機器操作。該工具還提供自動調整功能,以快速、安全地更改工藝條件。對於高質量的薄膜,ULVAC Zi-1000資產具有優化的工藝室設計。它包括許多提供環境保護的功能,例如用於均勻加熱的烘烤烤箱和用於均勻冷卻的烘烤管道。該腔室采用抗反射塗層,可提高反射率,提高聚焦距離,優化級振動。此外,此模型還具有一系列過程控制選項以及許多與安全相關的功能。總體而言,Zi-1000濺射設備提供高效、堅固的操作,具有優良的薄膜質量和可重復性。其先進的工藝設備和特點使其成為大批量生產和可重復膠片的理想選擇。
還沒有評論