二手 ULVAC Zi-1000 #9354446 待售
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ID: 9354446
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8"
Type: Multi chamber
(3) Process module controllers
(5) Chambers
Transfer unit
Chiller
Cables
Monitor rack
AC Power box
UPS
Accessories.
ULVAC Zi-1000是ULVAC Inc.制造的一種濺射設備，設計用於將薄膜沈積在多種材料上。該系統以高頻、直流、低壓等離子體為基礎，使沈積速率在整個沈積過程中保持一致。Zi-1000能夠在半導體、電介質、陶瓷和聚合物上沈積薄膜，具有高度的精確度、均勻性和可重復性。濺射裝置由交直流電源供電，可提供高達1000W的濺射功率，用於用各種濺射氣體濺射目標材料。這種動力用於在反應堆內創造低壓等離子體環境，產生可用於濺射多種薄膜材料的電離氣體。薄膜沈積的均勻性是通過一種專有的ULVAC「超級聚焦」技術實現的，該技術在反應堆中產生集中且狹窄的均勻等離子體分布，允許目標材料均勻濺射。機器還配備了一系列顯示器、傳感器和控制器，以確保所有工藝參數都保持在所需的範圍內，並且整個刀具在最佳條件下運行。此外,ULVAC Zi-1000還具有多種安全功能,包括超壓保護資產和地面故障電路中斷器,可防止操作過程中出現任何危險情況。所有這些特性使Zi-1000成為先進薄膜沈積工藝的理想選擇。
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