二手 ULVAC Zi-1000 #9379267 待售

ULVAC Zi-1000是一種行業領先的濺射設備,通常用於生產相關目的。它結合了垂直結構節能、高速磁控管和炮臺轉盤，使其沈積薄膜的速度比常規系統快五倍以上。系統基板面積大，允許各種大小基板一起濺射。這種立式濺射裝置具有獨特的高縱橫比基板支架和直驅機，進一步提高了濺射速度和均勻性，消除了薄膜沈積過程中的陰影需要。此外,Zi-1000還配備了在線實時兩級渦輪泵送工具,可提高真空性能。渦輪泵資產有助於真空環境在更短的時間內達到更深的壓力，從而使沈積過程能夠很快啟動。它還確保了更高的泵送速率，以防止基板表面受到汙染以及真空泵的使用壽命延長。該型號配備了連接到HMI（人機接口）的多功能控制器的先進智能操作控制。該軟件可有效控制基板溫度、沈積速率和層厚度。這結合對環境溫度、壓力、濕度和氣體的實時監測，導致了高效可靠的薄膜沈積過程。ULVAC Zi-1000還提供了與多個濺射目標的兼容性和2 x 10-4 Pa的最大真空水平，這就不需要在薄膜沈積前進行汙染物或背面清潔。此外,高功率磁控管還提供了與Al、Mo、Ti和Co等多種反應性目標的兼容性。總體而言，Zi-1000濺射設備是一種高效可靠的濺射系統，通常用於生產相關用途。它提供了比傳統濺射系統更高的工作效率，其兩級渦輪抽油機有助於實現更高的真空。此外，高效、用戶友好的智能操作控制為沈積速率和層厚提供了方便的控制。最後，它與多個濺射目標的兼容性以及達到2 x 10-4 Pa真空水平的能力，使其成為市場上最有利的濺射系統之一。