二手 ULVAC Zi-1000 #9399053 待售

ULVAC Zi-1000
製造商
ULVAC
模型
Zi-1000
ID: 9399053
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC Zi-1000是一種高性能濺射設備,旨在促進各種精密材料沈積過程。Zi-1000利用全自動系統中的先進技術,實現了材料層的精確和可重復的沈積。本裝置采用U型真空室,配有多種高級關鍵工藝部件。ULVAC Zi-1000的核心是一種先進的多目標濺射源,設計用於最大程度的均勻性和高速沈積。該機器提供了卓越的精度,能夠快速改變不同材料的濺射目標-這樣可以在執行各種沈積過程時提供更大的靈活性。該源是一個40kW晶體管化的高頻發生器,允許快速沈積速率與高水平的可靠性。Zi-1000通過用戶友好的GUI界面實現自動化,該界面具有一系列高級程序員工具和可編程運動選項。它能夠控制多達8個軸的運動,並能使用電子端止技術精確地超調。此外,ULVAC Zi-1000提供電源管理程序,操作員可以在最多30個可編程階段保存流程。Zi-1000上的選項是高度可定制的。有一系列高精度部件,包括可旋轉和XY平移級、負載鎖、各種氣源和高質量的沈積源。它還具有相當多的傳感器清單,用於精確測量溫度、沈積速率、電離和總沈積。ULVAC Zi-1000是一種功能極其強大且可靠的濺射工具。它提供了無與倫比的準確性和可重復性,並提供了一系列高級工具和可定制的選項。這種精密的資產使用戶能夠以盡可能最有效和最具成本效益的方式將優質材料輕松有效地存放到基板上。
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