二手 ULVAC Zi-1000N #9156833 待售

ULVAC Zi-1000N濺射設備是一種多功能、高性能的薄膜沈積工具。它能夠產生超高真空（UHV）條件，在低於10-6 Torr的壓力下運行。該系統具有強大的直流電源，能夠高速濺射沈積。它還有一個直徑1000毫米/39.37英寸、最大高度600毫米/23.62英寸的大腔室，可以輕松容納高達4英寸晶圓的大基板。Zi-1000N采用多種配置的大功率直流濺射槍。它設計獨特，具有兩個弧形單元，可在大面積上提供均勻沈積。濺射槍也被設計成在較低功率參數下最小化電弧。這使得它非常適合需要中低功耗沈積的應用。ULVAC Zi-1000N能夠執行多個薄膜沈積過程。它配備了集成加熱機，能夠支撐高達300攝氏度的溫度。該工具還可以進行化學氣相沈積（CVD）和等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）。該資產還利用精密機械臂提高了基板處理的精度和速度。這允許精確的過程控制和可重復的結果。Zi-1000N還包括一個以底板為中心的大直徑直流濺射源和一個覆蓋整個基板面積的加熱器元件。這使得它非常適合同時塗覆多種基板。ULVAC Zi-1000N提供可靠、一致和可重復的薄膜沈積。易於維護和用戶友好。濺射模型采用時尚、現代的外觀設計，帶有透明的腔室和觸摸屏面板，能見度清晰，操作簡單。Zi-1000N具有先進的濺射沈積能力和易於使用的控制設備，是滿足薄膜沈積需求的理想解決方案。