二手 ULVAC ZX-1000 #293642880 待售

ULVAC ZX-1000是一種用於在基板上沈積薄層材料的濺射設備。它具有一種將材料薄膜應用於目標表面的可靠和可重復的方法，在電子和半導體行業以及研發中都有應用。該系統采用真空沈積濺射技術，這是一種先進的工藝，利用高能直流電濺射源將材料從目標轉移到基板上。它是為生產均勻的薄膜而設計的，具有良好的附著力和高度可重現的效果。ULVAC ZX 1000由三個關鍵組件組成：腔室、源和泵.該室采用圓柱形「濕箱」設計，塗有隔熱材料，以減少能量損失。它還包括一個觀察過程的玻璃窗。侵蝕的主要來源是一個平面或圓柱形的旋轉目標，它懸掛在腔室的屋頂上。電源與直流電源相連,直流電源直接向目標發送強電流,使表面材料汽化並沈積在基板表面上。除了目標和電源外，ZX-1000還利用泵來疏散腔室，又稱其濺射離子泵。這是混合流動幹渦泵，連接到腔室底部，設計用於快速撤離腔室並保持特定的真空水平。ZX 1000可與多種基板搭配使用，包括金屬、矽和玻璃。它還配備了專用的基板支架，其特點是內置冷卻風扇和可調節的墊片，以確保均勻扇區沈積。ULVAC ZX-1000除了具有可靠、簡單的濺射裝置外，還包括一個集成控制器和用戶友好軟件，以優化沈積過程的控制。綜上所述，ULVAC ZX 1000是一款可靠、可重復、準確的先進濺射機。它能夠將薄薄的材料層沈積到各種基板上，其集成軟件可以方便操作，同時提供高度可靠和可重復的結果。ZX-1000出色的可重復性保證了高質量的薄膜，厚度均勻，附著力極佳，使其成為一種功能強大、用途廣泛的薄膜沈積工具。