二手 ULVAC ZX-1000 #293643027 待售

ULVAC ZX-1000
製造商
ULVAC
模型
ZX-1000
ID: 293643027
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8".
ULVAC ZX-1000是為高性能薄膜沈積而設計的先進濺射設備。它具有堅固的設計,由耐用的不銹鋼腔室構成,耐磨耐破,能夠在工業環境中長期運行。其主要應用在金屬、氧化物、多層結構等薄膜的沈積,在當今電子器件中提供高性能。ULVAC ZX 1000的腔室裝有三個安裝在保護區的濺射目標。每個目標都是獨立控制的,使復雜的薄膜結構得以創建。該系統可以很容易地與計算機進行控制和參數設置。控制單元允許精確控制諸如功率、壓力、流量和腔室溫度等參數。例如,它能夠維持在+50至-100 °C之間的溫度。該室還配備了化學池裝機,實現了高通量生產。該工具利用了特殊的化學堆積工藝,以便在短時間內覆蓋大量的基材。為了進一步提高生產效率,ZX-1000采用了強大的高頻電源,輸出功率可達5000 W。ZX 1000還配備了眾多的安全防護功能,以確保安全。這些安全功能保護用戶和設備,例如壓力警報和自動關閉資產。此外,主室和濺射目標配備了可靠的接地模型,可防止火花和電弧。總體而言,ULVAC ZX-1000是一種可靠、安全的濺射設備,非常適合工業和研究應用。其耐用的設計、高性能和安全系統使其成為任何薄膜沈積工程的絕佳選擇。
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