二手 ULVAC ZX-1000 #9156837 待售

ULVAC ZX-1000是一種濺射設備，設計用於使用高度可靠和高效的電源和優化的樣品室設計將薄層材料沈積到基板上。ULVAC ZX 1000中使用的濺射技術由於其可重復性和適用於大面積基板，在大批量生產和批量生產應用中是首選。要開始這個過程，要沈積的材料，或「目標」，被放置在濺射室的核心。目標可以是小的或大的，通常是由純金屬或合金。一種純凈的惰性氣體，像氙氣，然後循環進入腔室，形成惰性氣氛。然後將強大的磁控管濺射源（如ULVAC PDS8000應用於目標。這會使氣體電離，並產生以高達1km/s的速度向目標加速的離子。當這些離子與目標碰撞時，它們會引起濺射，或者從材料表面去除微小的顆粒。濺射的粒子隨後通過位於腔室後部的聚焦磁體，離子進一步加速並聚焦到基板材料上。當顆粒撞擊基板時，它們附著在基板表面，形成一層薄膜。此過程重復多次，以確保材料的沈積一致且分布均勻。ZX-1000系列濺射系統還包括一個先進的用戶界面，用於精確有效地控制目標和基板溫度以及基板速度和其他設置。這有助於確保每次都形成完美的薄膜。該設備還配備了自動真空疏散機,有助於減少停機時間和提高生產率。綜上所述,ZX 1000是一種高效可靠的濺射工具,非常適合批量生產應用和在多種基材上創建一致、均勻分布的薄膜。ULVAC ZX-1000系列濺射資產具有先進的用戶控制、自動真空疏散和高效電源,是業界標準濺射應用的理想選擇。