二手 UNAXIS / BALZERS LLS 502 #9217569 待售

ID: 9217569
Sputtering system.
UNAXIS/BALZERS LLS 502是一種最先進的濺射設備,設計用於光伏、光學和其他基板的薄膜技術。柔性UNAXIS LLS 502具有較高的沈積速率、優異的均勻性和均勻的薄膜附著力,以及快速加熱和冷卻以及較短的循環時間,以實現最佳的工藝控制。BALZERS LLS 502是各種薄膜均勻沈積的理想選擇。它帶有一個低壓磁控管濺射陰極,適用於介電、金屬和其他薄膜的沈積,都在一個濺射系統中。濺射功率可從0-500瓦調節,從而輕松快速高效地達到所需厚度。LLS 502中的腔室最多可用於八個基板持有者,其程序可實現自動化的逐步處理。它還具有高真空泵機和電極型樣品操縱器,提供了一個極好的無粘合劑的環境。UNAXIS/BALZERS LLS 502可以升級,並具有其他功能,如樣品偏置選項、穿孔室、回填氣室和烘烤輸出選項。這些組件可以輕松集成到現有機器中,以滿足特定的應用要求。UNAXIS LLS 502還具有可靠的安全工具和精確的操作控制,方便用戶使用。所有參數都易於設置,計算機模擬的3D視圖允許對濺射過程條件進行實時監控,從而確保薄膜均勻且無汙染。總之,BALZERS LLS 502是一種先進的多用途濺射資產,非常適合各種應用。其沈積速率高,均勻性好,加熱冷卻時間快,是薄膜生產研究的理想工具。
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