二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9167778 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是為薄膜沈積而設計的強大濺射設備。具體來說，它為包括鋁、鉻、銅和鈦在內的各類金屬薄膜提供了先進的沈積能力。UNAXIS LLS EVO是一個模塊化系統，可以根據用戶的個人需要量身定制。它基於線性磁控管源，包括獨特的原位等離子體監測和等離子體控制功能。該機組裝有真空室，能夠支撐低於8 x 10-7 mbar的底壓。它還配備了氣體淋浴機，使工具能夠在反應性氣體環境中運行。BALZERS LLS EVO允許對資產的氣壓、溫度和Pl進行遠程操縱，使其能夠沈積在各種基板上，包括ITO、PEN和Silicone。該模型還提供了多種陰極源，包括鋁、鉻等多元素源，以及鈦和銅等整體源。LLS EVO設有原位等離子體監測設備，提供沈積參數的實時信息，如基底溫度、基壓、系統TMS（目標材料供應）和沈積速率。這一特性使得有針對性地優化沈積過程成為可能。該單元還提供了一個功能強大和符合人體工程學的用戶界面，直觀的圖形用戶界面以及觸摸屏功能。這使用戶能夠遠程控制機器以有效地管理沈積過程。UNAXIS/BALZERS LLS EVO適用於各種不同的薄膜應用，如ITO、PEN和矽膠。它提供了一個極好的基礎壓力，這有利於薄膜的沈積。此外，該工具還具有先進的冷卻技術，有助於保持最佳基板溫度。資產還提供了高水平的過程控制，使用戶能夠有效地管理沈積過程。總而言之，UNAXIS LLS EVO是薄膜沈積的絕佳濺射模型。