二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9210356 待售

UNAXIS / BALZERS LLS EVO
ID: 9210356
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8".
UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一種最先進的濺射設備,設計用於將所需材料的薄膜沈積到基板上。該系統用於研究實驗室或生產過程,由兩個室組成。每個腔室都包含一個磁控管,該磁控管的工作原理是濺射目標材料,從而形成符合要求且均勻的薄膜。UNAXIS LLS EVO的設計包括一個集成的低頻電源,有助於提高沈積速率和減少膜厚度的變化。它還含有一個雙離子源,用於在沈積過程中增強對濺射材料的離子轟擊。這允許增加離子對基板表面的能量,進而提高膜的附著力和壓縮應力。BALZERS LLS EVO具有強大的直流(DC)偏差,專為反應性濺射和高速率濺射等過程而設計。這使用戶能夠以增加的膜密度、減少的結構缺陷和改善的附著力來沈積功能性薄膜。這一單元配備了壓力管理機,以保持低真空水平,也得到眾多先進傳感器技術的支持。它采用全方位的氣密工具進行設計,可確保無汙染,並為用戶提供最高級別的安全。LLS EVO還具有高度可定制的軟件,允許用戶設置其沈積參數。此外,資產的用戶界面非常方便用戶,可以根據具體要求輕松調整以定制處理模型。總體而言,UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一款出色的濺射設備,以其卓越的性能和可靠性而聞名。其強大的功能和最先進的設計使其成為研究實驗室和工業生產應用的絕佳選擇。
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