二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9237904 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是為工業、研究和開發環境設計的濺射設備。該系統設計用於可靠、大容量的濺射沈積，具有先進的負載處理和高通量應用的集成過程自動化。該裝置能夠在生產模式下塗覆大面積基板，以及用於研發的小樣品。它可以包含多達16個獨立的單獨工藝室，以高沈積速率和低熱預算實現快速和可重復的工藝。濺射機具有UNAXIS低載荷濺射（LLS）功能,這是一種獨特的濺射技術,可在平坦表面和深空腔上提供穩定和均勻的塗層。為了保持較高的沈積速率，LLS技術使沈積區域保持覆蓋和不斷運動，從而使沈積速率比傳統的濺射技術更加均勻和更高。LLS技術還有助於在濺射過程中確保較低的熱預算，從而保護細膩的基板。該工具還配備了最先進的集成過程自動化,以實現全過程控制和可重復性。這包括可編程目標跟蹤、加載和卸載程序、流程配方和流程歷史記錄。此外,資產的創新負載處理允許同時加載多達12個機架,以及自動托盤堆叠以進一步簡化生產過程。此外，該型號還裝有環保設計。所有部件，如泵、排氣機、油箱和過濾器，都是為高性能和能效而設計的。設備噪聲水平低，工作環境更宜人，是大容量濺射應用的理想選擇。總之，UNAXIS LLS EVO濺射系統是一個通用、可靠和高效的濺射塗層單元，為大批量應用提供了一個簡化的解決方案。其先進的自動化、集成的工藝控制和低熱預算使其成為大面積基板和精細基板的研發塗層的理想選擇。