二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9254147 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一種真空濺射設備，廣泛用於研究和生產應用。它是一種健壯、可靠且易於使用的工具，可用於離子束濺射（IBS）或磁控管濺射（MS）等各種濺射過程。UNAXIS LLS EVO是一種多基板濺射工具，提供各種樣品處理功能。它配備了兩個高真空室和一個通用的陰極設計，允許低占位周期濺射標準和大幅面基板。腔室的工作壓力範圍為10-6毫巴，可用於貴金屬或絕緣體濺射。腔室采用高質量的膜泵，使用戶能夠降低維護成本。BALZERS LLS EVO是一個獨立的系統，包括一個卸載機器人、一個基座、一個過程控制器和一個高精度的直線電動機。機器人提供了基板的快速運動和精確定位，而碼頭則可以方便地存儲多個基板。流程控制器可確保正確設置所有濺射參數,並為用戶提供易於使用的圖形用戶界面。直線電動機確保基板以正確的速度運動，以確保所需的沈積厚度。LLS EVO利用一個均勻的氣流單元來確保在整個基板上得到均勻的沈積。該機還具有先進的過程監控技術，使用戶能夠實時觀察沈積過程。此外,該工具還具有針對不同濺射過程的自動配方,以及保存各個設置和配方的功能。UNAXIS/BALZERS LLS EVO因其用途廣泛的設計和廣泛的工藝而廣泛用於研究和生產應用。適用於從小晶片到大矩形和彎曲基板的多種基板。該資產還可用於生產金、鋁、鈦等各種材料的薄膜、塗層和薄膜。總之，UNAXIS LLS EVO是一個可靠和可靠的濺射模型，可用於各種濺射過程。它提供了廣泛的功能，適合各種基材。憑借先進的工藝監控技術和獨立的設計，它是研究和生產應用的絕佳選擇。