二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9259021 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一種磁控管濺射設備，在半導體工業中常用於各種沈積過程。該系統由濺射室、目標物料源和其他幾個組件組成。濺射室本身是一個真空室，設計用來容納包括晶圓和其他裝置在內的一系列基板。這些基板被裝載到一個特殊的真空晶圓船平臺上，該平臺位於腔內。這對於以統一的方式進行沈積過程是必要的。濺射室還容納磁控管濺射系統。這就是允許目標物料源沈積到基板表面的原因。高壓源用於產生與濺射室中存在的氣體離子相互作用的電場。這會導致它們轟擊目標濺射材料，然後從材料表面推進到基板上。UNAXIS LLS EVO具有先進的特性，如反應性室特性，允許使用氣體混合物濺射和加工某些材料。這種工藝非常適合實現特定的化學計量比和制造技術要求很高的材料。該單元還設有集成激光機器，可以實時測量沈積膜的厚度。該照明工具還用作診斷工具和資產監視器。BALZERS LLS EVO專為高通量使用而設計，每小時最多可處理12個晶圓。它還有一個觸摸屏面板，便於操作和參數設置，用戶可以根據自己的特定需要量身定制濺射過程。該模型配備了多種功能,旨在增強用戶體驗,如用戶友好的屏幕、高效的過程控制和強大的軟件。LLS EVO設備是一種可靠有效的沈積系統，可以幫助滿足半導體行業的需求。它可以為用戶提供先進而精確的沈積工藝，有助於提高生產吞吐量和產量。該設備的集成功能還允許更大的工藝控制和裁剪,使其成為滿足各種沈積需求的絕佳解決方案。