二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9275953 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一種用於薄膜塗層的濺射設備，專門為Ti或TiN膜的沈積而設計。濺射系統由三軸運動控制和兩個濺射源模塊組成。濺射單元執行高達200 mm的X軸和Y軸運動,高精度± 0.1 μ m。第三軸（Z軸）的運動是通過電梯機提供的。所有坐標都由一個中央控制器管理，該控制器也支持進程序列。濺射工具具有兩組濺射源和六個獨立的工藝室。每個濺射源模塊都配有兩個最新的磁控管濺射源、高精度工藝電源和一個管理濺射過程的控制單元。根據薄膜材料的類型，向濺射室提供高達1kV峰值的額定功率。濺射資產能夠處理任何具有可變摻雜工藝參數的材料，以達到最佳薄膜效果。UNAXIS LLS EVO在處理過程中積極監測濺射室中的工藝參數。不同的過程參數如濺射時間、濺射功率或氣流可以針對整個模型或個別濺射源進行編程。可以使用集成數據記錄設備實時監控濺射過程。這樣可以確保在整個制造過程中保持高質量的薄膜沈積工藝。綜合氣體系統有效地向濺射源提供反應性氣體。對氣體的流動和壓力進行精確調節，以產生所需的沈積過程。燃氣單元配備手動、自動流量控制，以及預編程的泄漏檢測報警，確保運行穩定可靠。BALZERS LLS EVO濺射機是一種高度先進的濺射工具，能夠對薄膜進行精確沈積。其集成的數據記錄資產、高精度的工藝電源以及專門設計的運動控制使得在任何材料的沈積中獲得最佳效果成為可能。