二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9284249 待售

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ID: 9284249
優質的: 1997
Sputtering system, 6" (5) Targets 1999 vintage.
UNAXIS/BALZERS LLS EVO是一種濺射設備,利用磁控濺射技術將材料沈積到基板上。這種濺射沈積系統利用多個陰極源的專門設計的磁控管和一個旋轉的目標輪,創造一個均勻一致的塗層。目標由旋轉的車輪固定在適當的位置,濺射用無應變濺射源完成。濺射過程利用直流磁場和施加的偏置電壓來產生產生高能離子的電弧。這些離子撞擊基板(工件),侵蝕並去除隨後沈積在基板上的材料。侵蝕材料不斷沈積在基板上,形成均勻均勻的選定材料層。根據設置的參數(如基板偏置電壓、直流磁場強度和轉子速度),最終結果可以從薄膜或類似氧化物的層狀塗層,到用於保護或耐磨應用的厚塗層。UNAXIS LLS EVO提供多種待沈積材料,包括鋁、銅、金、銀和鈦,以及特定應用的定制材料。該單元還可與多種基材搭配使用,包括玻璃、陶瓷、金屬和塑料。濺射過程是安全的,因為底物不會達到高溫,在沈積過程中或之後不會受到任何環境問題的影響。BALZERS LLS EVO是生產各行業高端塗料的理想機器。濺射沈積工藝的高沈積速率和高精度,使得生產速度更快,解決方案更具成本效益。由於磁控管的精確控制,該工具產生幹凈、均勻的塗層,非常適合微電子、半導體、光學等高精度應用。此外,還可以調整資產以覆蓋不同形狀和大小的表面積,而不必擔心寬度變化或空隙,從而確保高一致性和可重復性。因此,LLS EVO濺射系統是為許多不同的應用創建塗層的經濟高效且可靠的替代方案。
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