二手 UNAXIS / BALZERS UNI 800 ECO #9285795 待售

UNAXIS/BALZERS UNI 800 ECO濺射設備是一種通用的高性能沈積裝置，用於在各種金屬、陶瓷和塑料基板上生產薄膜。它由工藝室、射頻和直流電源、負載鎖、基板支架和控制器組成。該工藝室的內徑為305毫米，最多可容納上述任何基材的八個樣品。進入腔室的氣體由兩個氣體入口控制，這兩個氣體入口允許引入反應性氣體進行反應性沈積和濺射清洗。腔室還設有一個裝卸系統，自動化，可容納直徑2至8英寸的基板。射頻電源允許較高的沈積速率,而直流電源可確保薄膜的均勻性。它在13.56 MHz頻率下提供高達800 W的功率。負載鎖定是一種動態類型，可確保設備在裝卸基板時的連續運行。最多可容納四種基材。基板支架在濺射過程中提供低溫均勻性，每個支架具有高達250公斤的獨立支撐。磁場陣列允許在基板支架傾斜時聚焦沈積的粒子。使用基於Windows的軟件運行的控制器提供了一個易於使用的直觀用戶界面。UNAXIS UNI 800 ECO是一臺可靠、最先進的機器，適合各種濺射應用。它能夠沈積廣泛的材料，並提供高質量的均勻性和吞吐量。其先進的特性使其成為大規模生產的理想工具。