二手 UNAXIS Clusterline 200 #9189483 待售

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ID: 9189483
優質的: 2000
Sputtering system Turbo pumps: TMH 521P (2) TMH 520 TMH 260 Brooks robot and arm-set PN: 201600-01R Brooks load lock-drive/controller PN: 003-9010-03 Turbo pumps and controllers: (3) TCP 380, DCU300 ARQ and magnet-system (Al-chamber) PN: ARQ 151 D31, MB300DR magnets Load-lock with cass system, 6" Transfer camber turbo pump Sputter etch chamber with turbo pump Sputter chamber Heated lamp Rotation magnets with turbo pump Magnetron has rotation magnets Sputtering of ALU and ALU nitride Dual arm robot Robot included Spare parts: O-Ring Metal rings Ceramic chamber Transport brackets 2000 vintage.
UNAXIS Clusterline 200是一種濺射設備,為各種基板,包括玻璃、陶瓷、塑料和金屬基板提供精密的薄膜沈積技術。這一通用系統的設計是為了在大中型工作崗位上提供靈活性和生產。它提供了一種自動化的過程控制功能,在基板上產生均勻、高質量的薄膜沈積。Clusterline 200使用從基材的制備開始的高質量制造工藝。然後,基板在真空室中通過單元運輸,在真空室中,UNAXIS磁控管源產生高度聚焦的能量束。當這些光束轟擊基板時,它們導致粒子從源頭濺射,在目標基板上形成薄膜。為確保取得最佳結果,自動流程控制功能會持續監控流程。UNAXIS Clusterline 200還提供了一個綜合流程監測平臺,確保可靠、高效和受控的工作流程。集成過程監視平臺允許用戶監視機器參數、診斷出現的任何問題並調整過程以獲得最佳性能。此外,Clusterline 200以其先進的濺射技術提供卓越的性能。其先進的濺射技術使用創新的壓力脈沖技術來限制產生的電離原子的數量。這有助於減少表面粗糙度和晶體生長,同時也允許薄層沈積在小而復雜的部分上。最後,UNAXIS Clusterline 200可以容納各種基板溫度和壓力,以最大限度地提高工藝效率。這有助於最小化底物上的薄膜載荷並最小化殘余應力。總之,Clusterline 200是一種功能強大的高性能濺射沈積工具,提供多功能性、精確度和強大的過程控制。其先進的工藝控制和尖端技術使其成為各種基板沈積的理想選擇。
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