二手 UNAXIS Clusterline 200 #9279527 待售

UNAXIS Clusterline 200是最先進的PVD濺射設備,具有卓越的工藝精度和可重復性。Clusterline 200是基於模塊化的設計概念，由一個載荷鎖定室、一個單或雙濺射源和一個處理室組成。這使得系統可以配置各種沈積過程，如直流或脈沖直流/射頻磁控管濺射、電子和離子束蒸發以及化學蝕刻。該裝置采用高達8 x 10-8毫巴的低維護超高真空，為各種薄膜應用提供了非常精確的工藝條件。該控制器在高級實時GUI上運行,為用戶提供多種過程控制選項,並確保以手動或自動模式進行精確的過程控制。該軟件還允許用戶自行快速高效地排除濺射沈積過程的故障。UNAXIS Clusterline 200是一臺自動批量濺射機，具有緊湊的負載鎖組合和內置批量運輸機。這允許用戶同時處理尺寸不超過8英寸的基板,而只需要很小的占地面積。該工具還為多區域或單腔室操作提供了各種其他電平選項。Clusterline 200除了具有精確的過程控制功能外,還具有高分辨率的集成觀看攝像頭和電源監視器。提供模塊化氣體系統可以控制各種進氣和廢氣，使薄膜質量具有精確的控制和可重復性。UNAXIS Clusterline 200為用戶提供了全面和可靠的PVD資產，該資產配備了先進的濺射源選項、自動批處理能力和多種內置功能。該模型的可靠性和可擴展性使其成為各種濺射沈積行業的首選。