二手 VACUUM INDUSTRIES 1806 #293658124 待售
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VACUUM INDUSTRIES 1806™是一種先進的高性能濺射設備,它通過獨特的專有系統技術提供出色的過程控制。1806是一個功能齊全的單元,總濺射覆蓋面積為18英寸乘8英寸,標準腔室尺寸為3英尺寬乘6英尺深,可選擇增加3英尺寬乘2英尺深。VACUUM INDUSTRIES 1806濺射機使用RF和直流電源的組合以及旋轉目標機構,以確保沈積過程的均勻性和控制性。直流電源用於在目標和基板之間形成電弧,以實現均勻濺射。射頻電源將沈積速率保持在所需的水平。旋轉機構主動調整相對於基板的目標角度,以確保均勻的濺射速率。1806年還采用了高性能VACUUM INDUSTRIES先進的磁級聯濺射離子源(MCSIS)。MCSIS用於提供電離粒子的高通量,並提供更平滑、更一致的濺射過程。此外,一個超高真空(UHV)室的底壓為10-6 Torr是標準的工具。超高壓還能確保極低的汙染和優異的底物清潔度。VACUUM INDUSTRIES 1806可通過一系列強健的電壓、電流和定時控制接口進行控制,從而實現對過程的精確控制。還可以實時監視資產,以便在操作過程中快速發現任何潛在問題。1806年還包括緊急停車功能、故障跳閘功能等高級安全功能。最後,VACUUM INDUSTRIES 1806是一個強大的材料沈積和表面工程過程平臺。VACUUM INDUSTRIES為介電、導體、半導體和磁性沈積材料等多種應用提供了一系列全面的濺射目標。1806型是需要高性能、先進過程控制和可靠性的實驗室和行業應用的理想選擇。
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