二手 VARIAN 3100 #9165616 待售
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VARIAN 3100濺射設備是一種全自動薄膜沈積系統,常用於薄膜樣品的制作和表征。該裝置旨在將各種薄膜,包括半導體、金屬和聚合物,沈積在任何大小、形狀和形態的基板上。該機由高真空沈積室、電動濺射陰極組件、等離子體發生器和高真空閘閥組成。高真空沈積室是一種真空密封的安全殼工具,內部壓力為10-4 torr或更低。此功能可確保有害汙染物不會進入資產,從而提供卓越的質量和一致的沈積參數。室內有一個電動濺射陰極組件,用於將所需的材料濺射到適當的基板上。濺射槍可以被編程為容易改變沈積參數,如持續時間、功率和方向。濺射槍還裝有等離子體發生器,用於在腔內產生輝光放電,進一步協助濺射過程。這有助於確保整個樣品的沈積一致,即使在邊緣也是如此。3100濺射模型還配備了高真空門閥,在外部環境和高真空室之間提供了安全密封。此功能有助於確保有害汙染物不會進入設備,進一步確保一致的結果和卓越的薄膜沈積質量。此外,系統還配備了真空控制模塊,可以讓用戶手動調節腔室壓力。這一特性有助於確保沈積過程中的結果一致和沈積參數一致,對於薄膜的精確沈積至關重要。最後,VARIAN 3100濺射裝置還配備了數據采集機,用於記錄沈積參數。此功能允許用戶在整個沈積物上準確監控和記錄沈積參數,也允許記錄保存和數據可視化。綜上所述,3100濺射工具是專門為薄膜樣品的制作和表征而設計的全自動沈積資產。它擁有高真空沈積室、電動濺射陰極、等離子體發生器、高真空閘閥、真空控制模型和數據采集設備。所有這些特性有助於確保準確和一致的沈積參數以獲得最佳結果。
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