二手 VARIAN 3118 #9081511 待售

VARIAN 3118是為金屬或介電膜的高精度沈積而設計的最先進的濺射設備。它是一種功能強大、用途廣泛的工具，能夠為薄薄的材料層提供高達400nm/min的沈積速率。開發3118是為了在薄層和多層材料的沈積中提供準確、可重復的結果。其先進的設計提供了卓越的濺射均勻性，即使在復雜的結構中也是如此。VARIAN 3118是3100系列的一部分，是該系列中最全功能的車型。它以高可靠性和易於維護而聞名。3118具有高效陰極點位控制系統，允許沈積具有精確目標模式的結構。它還提供了可變磁控管目標陰影特性，允許更好的濺射性能和降低功耗。VARIAN 3118還包括一個獨特的蝕刻單元，可用於蝕刻來自基板的沈積膜，以提高均勻性和附著力。這種蝕刻機通過控制正負蝕刻電壓元件，便於精確的模式控制。通過強大直觀的觸摸屏用戶界面來控制濺射過程。這個直觀的用戶友好界面允許對過程參數進行有效控制，如濺射功率、點電壓、磁控管位置和目標陰影。3118提供了多種強大的功能,以提供出色的濺射過程結果。其先進的設計提供了卓越的均勻性和可重復性，節省了時間和金錢。VARIAN 3118還為復雜結構提供了較高的分辨率和較高的沈積速率，使其非常適合薄膜沈積應用。