二手 VARIAN 3118 #9358260 待售

VARIAN 3118是一種高精度、高通量的濺射設備，用於將薄金屬膜沈積到半導體晶圓等基板上。3118作為VARIAN的旗艦濺射系統之一，以卓越的性能和可靠性提供最先進的技術。該系統由多達18個磁增強二極管濺射源組成，能夠用貴金屬、半導體和電介質材料塗覆各種基板。VARIAN 3118單元包括雙數字溫度控制器，用於從室溫到500C的精確基板溫度控制。一臺六位機器人基板搬運機，為多層膜的同時沈積提供了有效的基板轉移。3118配備了鎖載工具，允許在真空中快速交換基板，快速壓力循環和均勻的基板從室溫加熱到500C。資產還具有開放式設計,便於維護和調整。VARIAN 3118濺射模型還包括一系列計算機控制系統，提供對壓力、溫度、功率、沈積速率和其他關鍵參數的精確監控。先進的計算機軟件允許實時監測和操作沈積參數，並確保過程結果的魯棒性和可靠性。3118能夠創造廣泛的高品質薄膜材料，用於半導體器件制造、微電子加工、薄膜太陽能電池等多種應用。該設備非常適合用於研究實驗室和生產設施。