二手 VARIAN 3120 #9069403 待售

VARIAN 3120濺射設備是用於等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）和物理氣相沈積（PVD）工藝的先進工具。它是一個直觀、先進的系統，使用戶能夠在高溫基板上快速、精確地沈積薄膜層，如玻璃、玻璃陶瓷、塑料、金屬等。3120單元包括兩個獨立但同時的濺射源、三個可旋轉目標、兩個蠕變室和一個電子噴槍磁控管濺射源。兩個磁控管源在腔室內同時運行有助於最大限度地提高工藝產量和可重復性。此外，該腔室和組件的設計是為了減少腔室疏散時間和優化較大區域的沈積速率。VARIAN 3120還包括一個大型的高真空室，設計用於在任何時候保持均勻和最佳的清潔，從而產生一個非常幹凈和光滑的表面，用於薄膜層的沈積。3120機器具有許多功能，使用戶能夠在濺射和其他過程之間快速變化，包括離子註入、電子束或激光熔化以及熱氧化。用戶可以使用該工具來控制過程參數，如目標電流密度、氧摻雜水平、基板偏差和時刻溫度。VARIAN 3120還包括高級安全功能,例如確保模型安全運行的互鎖資產。設備被封裝在卸載的空調中，以保持腔室溫度和壓力恒定。3120還提供了非常高分辨率的成像，允許用戶使用其用戶友好的圖形用戶界面查看、編輯和分析圖像。此界面允許用戶快速調整合成參數以微調膜層。最後,VARIAN 3120系統可以輕松集成到自動化系統和工廠環境中。該裝置在各種工藝條件下工作，溫度為200 °C，壓力高達5E-6 Torr。這使得它成為量產運行的理想選擇。