二手 VARIAN 3120 #9070954 待售

VARIAN 3120是為薄膜材料沈積在金屬、塑料、玻璃等材料等基材上而設計的濺射設備。它能夠精確、均勻地沈積各種薄膜材料，如氧化物、氮化物、碳化物、金屬和金屬合金。該系統由一個基地單元、一個孤立的真空室以及多個功能齊全且相互連接的子系統組成。3120基本單元包含電源和控制模塊。它允許用戶選擇所需的濺射壓力並調整電源級別。此外，基座單元還包括用於溫度控制的組件，包括兩個水冷熱交換器和四個PID控制器。真空室是隔離的，這使得汙染最小化，有助於最大限度地提高膜的附著力。它由不銹鋼構成，包含幾個獨立的部件，以確保緊密的真空密封。這些部件包括具有最佳泵送速度的渦輪分子泵、閘閥、VCR套圈、法蘭、壓力表和針閥。VARIAN 3120具有全自動和可配置的射頻匹配網絡。這個射頻匹配網絡使用戶能夠調整射頻供電單元的阻抗，以便在任何濺射壓力下建立正確的電極匹配。射頻功率通過三個獨立的射頻源傳遞給樣品。此外，該機還具有陰極電弧源和氣體噴射器，可用於反應性氣體。3120是出於安全考慮而設計的。它配備了幾個獨立的安全功能，包括壓力和溫度監視器，幹式渦旋真空泵，以及一系列安全聯鎖裝置。此外，該工具還通過將所有危險氣體和源儲存在疏散室外而得到進一步保護。總之，VARIAN 3120是一種先進且完全可配置的濺射資產，設計用於薄膜材料在各種基板上的沈積。它配備了一個隔離的真空室，多個獨立的安全特性和組件，用於精確的溫度和功率控制。RF匹配網絡使用戶能夠調整電源傳遞模型的阻抗以獲得最佳匹配。