二手 VARIAN 3120 #9191951 待售

VARIAN 3120濺射設備在薄膜沈積技術的世界中占有獨特的地位。它專為金屬、氧化物、氮化物、電介質等各種材料的蝕刻和塗層而設計，以生產具有優異光學、電氣、機械性能的薄膜。該濺射系統具有三個獨立的腔室：一個雙磁源腔室、一個平面濺射腔室和一個基底持有室。雙磁控管源腔采用TEM型雙磁控管源，可實現平面和角度濺射。平面濺射室具有傾斜的磁源，設計用於優化高縱橫比特征的濺射。基板支架室有可調節的支架，可以容納各種尺寸和形狀的基板。3120單元具有獨特的負載鎖定機，使基板能夠快速方便地裝載到工具中。載荷鎖資產具有高度均勻的壓力和溫度控制，提高了薄膜塗層的均勻性。使用直觀的計算機界面進一步控制整個模型，該界面允許用戶設置參數或程序而不會造成太多麻煩。這種濺射設備是各種濺射要求的絕佳選擇，包括生產光學薄的透明導電氧化物層和介電屏障層的選擇性沈積。VARIAN 3120還配備了先進的電子設備，能夠精確控制基板的溫度、材料流量和其他參數。它還有一個內置的安全系統，在緊急情況下關閉設備。總體而言，3120濺射機在沈積各種材料的薄膜方面提供了無與倫比的靈活性、便利性和控制性。對於尋找高質量濺射沈積工具的科學家和工程師來說，這是一個可靠而經濟的選擇。