二手 VARIAN 3120 #9258459 待售

VARIAN 3120是一種直流磁控管濺射設備，設計用於沈積金屬、電介質和半導體材料層。濺射系統包括真空室、端霍爾磁控管源、兩個洪水槍源、三個氣體混合器和一個用於控制基板溫度的目標充氣器。真空室采用不銹鋼制成，直徑600mm，高800mm。它有一個閘閥組件，包括一個用於觀察基板的窗口。它有兩個泵，一個渦輪分子泵和一個機械泵，用於營造高真空氣氛。渦輪分子泵提供2x10^-5 Pa的持續壓力，而機械泵提供3 x 10^-7 Pa的基本壓力，目標充氣器用於調節基板溫度，允許使用者設定0至200 °C的基板溫度。它使用精密加熱器、嵌入式溫度傳感器和溫度控制單元。端霍爾磁控管源用於將膜材料濺射到基板上。它具有逆變器耦合設計，允許優化電源，穩定濺射過程，分辨率最高。端部霍爾磁控管可實現高達2,500瓦的可變功率,並在2x10^-2 mbar的濺射壓力下運行。為金屬濺射和沈積提供了兩門電子束防洪炮。它們采用電子控制，並使用鎢絲作為原料。燈絲可提供高達8000伏的功率，使厚厚的金屬和介電材料層均勻沈積。機器所提供的三個氣體混合器能夠為反應性濺射過程持續供應氣體。這些氣體混合器能夠向腔室供氧、氧和氮。這允許用戶創建各種不同的反應性濺射環境。3120濺射工具為用戶提供了一個可靠和精確的金屬和介電沈積過程工具。它易於操作,允許用戶快速設置和調整流程。資產采用先進技術，以清潔室一級的質量提供一致、高性能的沈積。