二手 VARIAN 3125 #127886 待售
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單擊可縮放
ID: 127886
Auto sputtering system
(3) S-Guns
(2) DCPS
Stainless steel water cooled chamber with two full opening doors
Liquid nitrogen trap-valve and VHS-250 DP
RF capability & match network but no RFPS
Substrate heat
IC-6000.
VARIAN 3125濺射設備是一種先進的薄膜沈積系統,旨在沈積薄膜用於高分辨率材料加工應用。該單元由先進的真空室、多個磁控管濺射源和強大的控制機器組成。該腔室提供了廣泛的真空壓力範圍和大小,使薄膜的沈積具有優越的吞吐量,靈活性和控制。該工具的磁控管濺射源結合了高功率射頻資產、雙極磁鐵設計和多個冷卻層,以提供卓越的濺射沈積工藝。這項技術的靈活性使客戶能夠調整關鍵參數,如濺射率、離子轟擊、溫度、功率和目標旋轉-所有這些都會影響薄膜沈積過程。3125的控制模型針對綜合材料和過程控制進行了優化。它的高級自動化功能使用戶能夠開發、執行和監視薄膜沈積和測量過程。此外,控制設備還可以與外部設備交互,與各種軟件平臺交互,並捕獲來自多個來源的數據。最後,設計了VARIAN 3125室,以最大化表面積,最小化顆粒循環,最小化沈積壓力。這有助於確保將高質量的薄膜沈積到各種基材上。該室還配備了一個主動的環境控制系統,可調節溫度、濕度、壓力和清潔度,從而對工藝環境進行精確和可重復的控制。總體而言,3125濺射裝置是高分辨率材料加工應用的強大而可靠的工具.其精密的設計和強大的控制機使用戶能夠以最高的效率和精度實現精確、可重復的薄膜沈積。
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