二手 VARIAN 3140 #9046098 待售

VARIAN 3140是一種能夠提供先進材料沈積性能的濺射設備。它是一種全自動工藝，采用獨立、精密的雙區真空室。該腔室有助於在各種壓力和溫度因素下保持較高的真空完整性和較高的均勻性。該系統還配備了石英積液電池，能夠將優質材料輸送到基板表面。該單元適合通過濺射工藝沈積廣泛的材料，包括金屬、合金和復合材料。3140機的主要部件是雙區真空室、真空工具、電動機械手、氣體進料資產、石英積液池和濺射源。模型的核心是兩區真空室，它允許雙區過程控制和均勻性。高效真空設備基座泵始終保持室內清潔環境。柔性機動機械手可以方便地裝載和卸載基板，以及精確定位基板用於濺射過程。強大的氣體進料系統和石英積液池使高均勻度的高品位材料在基板上輸送。石英積液池有助於減少雜質，並能更好地控制這一過程。高速、高精度的濺射源可實現高吞吐量,具有卓越的均勻性和卓越的工藝控制。VARIAN 3140單元提供高精度和靈活性,以滿足最苛刻的生產要求。雙區工藝控制在整個壓力和溫度範圍內實現了極好的均勻性，而石英積液池則為以最小雜質沈積高檔材料提供了理想的環境。濺射源和燃氣進料機實現高通量,工藝性能優異.此外，電動機械手可以快速、方便地裝載和卸載基板，以便高效生產。