二手 VARIAN 3140 #9113802 待售

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製造商
VARIAN
模型
3140
ID: 9113802
E-Beam evaporator Process: Used for dielectrics (Silica and transition Metal Oxides) 4-Pocket with thermal source O2 Tank with leak valve Bell jar chamber: Outer diameter, 20” Diffusion and mechanical pumps included Chiller not included Currently in storage.
VARIAN 3140是為各種薄膜沈積和制造工藝而設計的濺射設備。專為加工復雜、高精度零件而制作。濺射系統具有平面磁控管源和旋轉磁控管源以實現高效沈積,提供多種工藝能力。該裝置具有許多特點,包括用於脈沖直流濺射的遙控室、用於反應性沈積的熱等離子體發生器、用於有效膜厚度均勻性的獨立離子控制以及用於溫度敏感沈積的溫度控制基板卡盤。3140還配備了集成、用戶友好的軟件包,可幫助操作員輕松監控、控制和優化流程參數。用戶可以從控制界面實時獲取真空壓力、目標功率、過程監控數據,還可以調整濺射率、離子濃度、反應堆溫度等各種參數。該機器還具有手動和自動化功能,可用於流程優化。通過自動化功能,用戶可以優化薄膜厚度均勻性、可重復性和沈積率,從而實現高質量零件的經濟高效生產。除了高級軟件外,該工具還提供一系列安全功能,以確保操作安全。它的多個故障保險箱,包括電源和運動監視器、腔室超壓保護以及加熱器電纜和斷開連接,確保始終保持安全運行狀態。為了確保一致和可重復的結果,VARIAN 3140還配備了高精度的模具和真空室。它的模具設計能夠準確定位基板,確保最佳沈積工藝。綜上所述,3140是專門為高精度零件處理而設計的先進濺射資產。它配備了一系列先進的功能,允許對高質量零件進行控制優化和經濟高效的生產。它的安全特性和精密的模具保證了可靠的操作和可重復的結果.
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