二手 VARIAN 3180 / 3190 #9009369 待售

VARIAN 3180/3190是一款高效可靠的濺射設備，專為微電子、薄膜等高精度應用而設計。該系統能夠對各種表面和材料產生高純度、低溫和高速率的沈積。濺射源易於操作，對沈積過程提供了良好的控制。該裝置還具有高溫性能，允許晶體生長和選擇不同的沈積模式。3180/3190提供了一個直徑60厘米的腔室，最多可容納4個濺射源。腔室的溫度範圍高達600°C，壓力為10-7 torr。室內裝有強制空氣再循環機，保持均勻的環境以進行精確沈積。該室還包括一個現場過程控制工具，用於監測大氣環境，以檢測任何過程引起的變化。濺射源的直徑為8英寸和6英寸，可與尺寸不超過12英寸的基板配合使用。每一個濺射源都配有一個磁控管源，向目標物質發射氙離子，以便在基板上形成材料的保護層。這些源還設計用於高速率的均勻沈積，以及各種額外的工藝能力。資產還包括流程控制軟件,該軟件可根據需要創建和修改自定義流程配方。這允許金屬、合金和其他材料的精確和可重復的沈積。它還允許通過創建和監視沈積過程來高效使用濺射源。VARIAN 3180/3190是一個可靠、高效的沈積和濺射應用模型。設備強大的濺射源、原位過程控制系統、過程控制軟件，使多種材料的沈積精度高、重復性好。該裝置能很好地控制沈積過程，非常適合微電子和薄膜等應用。