二手 VARIAN 3180 #143941 待售

VARIAN 3180是一種濺射設備，設計用於將薄膜層沈積到具有最高可達到的純度和均勻性的基板上，以高沈積速率。它提供了一系列全面的功能,包括直流和射頻電源配置、數字厚度控制以及有源或無源基板冷卻。它具有多種工藝氣體和幾種內部氣體輸送系統，在溫度控制的外殼中，能夠在Planar Magnetron和Triode配置中運行。3180還具有幾個獨特的功能，包括遠程監控和診斷功能、同時沈積的雙源以及基於Web的自動數據存儲。這個濺射系統還能夠利用各種各樣的電源和工藝氣體，包括一個強大的150 kW直流電源和一個260 kW射頻電源。除了先進的電源系統外，VARIAN 3180還采用了先進的控制軟件程序，能夠精確控制沈積過程。該機組有十個工藝氣體輸入點，每種氣體都內置獨立控制器。這使得工藝參數的精確控制和利用多種氣體類型，機器可以很容易地一次沈積多層。該軟件還實時捕獲和監視重要數據,從而便於數據趨勢和分析。該工具還包括一系列樣品加載系統，包括集成的線性輸送機、穿梭裝載機、高密度樣品存儲資產和獨特的樣品布線模型。它還提供精確的溫度控制，溫度能夠在10微米內調整到精確的精度。3180濺射設備為薄膜沈積需求提供了通用、高效、高通量的解決方案。通過提供電源的選擇，並通過提供幾個內側沈積源，準確的過程控制和精確的底物溫度管理，該系統確保了最高質量的沈積結果。此外,高級診斷和遠程監視功能允許從任何位置輕松準確地進行流程分析。