二手 VARIAN 3180 #172350 待售
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VARIAN 3180濺射設備是一種最先進的設備,專門設計用於為各種材料提供卓越的薄膜沈積。它利用離子和中性粒子的組合,將定義的薄膜層沈積在目標基板上。3180具有超寬的沈積範圍,使它能夠處理幾乎任何濺射沈積項目。這個範圍是通過高功率和脈沖電源實現的。高功率源經過專門設計,可以沈積厚厚的合金、氧化物和金屬層。脈沖電源提供沈積薄膜厚度變化較窄的多層所需的精密控制。該系統還配備了集成可調的磁場,允許在大大小小的基板上進行定向濺射沈積。這個單元非常靈活,可以很容易地適應各種幾何形狀和基材形狀。VARIAN 3180還擁有卓越的腔室和目標配置。其不銹鋼室壁設計為超光滑、超熱,提供了在大功率濺射沈積時最小失真的腔室環境。同時,3180的目標是根據客戶指定的需求構建的,並提供了近乎無限範圍的沈積配置。VARIAN 3180的整體性能也得益於一套高級控件。其中包括用戶友好的界面和技術控制軟件,通過跟蹤參數隨時間推移來確保最佳性能。3180還包括負載鎖、渦輪泵、活塞泵、自動壓力和溫度控制等標準功能,以及用於增強連接的遠程用戶終端。總之,VARIAN 3180濺射機是一種具有高功率和脈沖功率濺射沈積能力的先進設備。其超寬沈積範圍、可調磁場、優越的腔室/目標配置和先進的控制套件使其成為在任何種類的材料上沈積薄膜層的理想選擇。
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