二手 VARIAN 3180 #293629517 待售
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VARIAN 3180是一種先進的濺射設備，用於工業和研究應用。它提供具有重復性的高速率濺射，並具有獨特的雙磁控管設計。3180利用集成垂直目標加載,通過消除離線操作來提高吞吐量。另外，其三區渦輪泵配置可以自動切換源，以保持濺射腔內的等壓，從而實現最佳沈積。該系統提供的濺射速率是傳統濺射方法的兩倍，為工業生產提供了超高的沈積速率。它還具有0-12,000C的低溫工藝範圍，允許在廣泛的基質溫度範圍內沈積易碎材料，以減少與熱應力有關的損害。VARIAN 3180是各種基材尺寸的理想選擇，從晶圓到8英寸圓盤。它標配負載鎖和靜電晶片卡盤，可以很容易地與其他組件集成，如光學和射頻診斷系統，以擴大其能力。3180通過使用Uni-Gun技術,顯著提高了工藝的可重復性,並確保了整個基板的均勻性。這種先進的濺射裝置兼具高速率同軸模式和低速率雙磁控管模式。高速率模式可實現高附著力和高覆蓋率且無固結，而低速率模式可產生高密度塗層。最後，VARIAN 3180配備了現代化的自動化功能，提供實時的過程控制、監控和故障排除。這允許操作員從任何位置遠程控制、診斷和優化濺射過程。總體而言，3180是一個優秀的濺射機工業和研究的應用。它提供高速率濺射、低溫操作和優越的均勻性，使其成為許多行業的寶貴工具。
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