二手 VARIAN 3180 #293740231 待售

VARIAN 3180是一種濺射系統，利用高功率射頻（RF）濺射和直流電（DC）電弧源將薄膜沈積在廣泛的目標材料上。這個先進、創新的系統結合了多功能沈積技術，提供了更多的應用可能性。射頻濺射技術用於在3180中創建薄膜層。利用高頻交流電流驅動電離氣體，射頻濺射過程產生高能氣體。然後，這種氣體被推向目標材料，使來自目標材料的原子被迫脫離其表面。當目標材料的自由原子隨後沈積到基板上時，就會產生一層薄膜。VARIAN 3180中也使用的直流電弧源法也是物理氣相沈積（PVD）工藝。通過使用電弧加熱目標材料，原子被分離並產生一個沈積在基板上的蒸氣。這種方法的沈積速率高於射頻濺射，不依賴於所使用的氣體。3180的優點包括易於使用的軟件界面，允許用戶控制等離子體的溫度、功率和壓力。進一步的優勢包括獨特的多任務處理功能,可以同時控制多個過程參數。此外,VARIAN 3180還在選擇目標材料方面提供了很高的靈活性,使其適合廣泛的應用。綜上所述，3180是一種用途廣泛且備受推崇的濺射系統，提供射頻濺射和直流弧源的組合。這為用戶提供了一種通用的沈積技術和增加的應用可能性。其用戶友好的軟件、多任務功能和範圍的目標材料使其成為許多行業的熱門選擇。