二手 VARIAN 3180 #293746467 待售
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VARIAN 3180是一種精密的濺射設備，設計用於各種薄膜沈積應用。3180提供各種格式的強大濺射工藝和高性能沈積技術,包括真空弧和反應性濺射系統。其集成的自動化和觸摸屏用戶界面簡化了操作，為各種用戶偏好提供了支持。VARIAN 3180旨在滿足先進薄膜沈積工藝的需求，提供卓越的濺射效率、優化的目標利用率和非常穩定的性能。3180具有先進的光學耦合、六軸機器人安裝電源和水平安裝的基於RF磁控管的電子束噴槍,用於高效的基板塗層。還包括用於沈積控制的集成快門陣列，以及用於基板保護的集成斷裂檢測系統。VARIAN 3180的模塊化設計允許在同一單元中使用多達3 × 2個沈積元件的靈活格式,從而使客戶能夠在地理位置上配置其模具配置。3180旨在支持多種高科技薄膜沈積應用，包括薄膜晶體管（TFT）、太陽能電池和先進半導體器件。它是廣泛半導體工藝的理想平臺，包括金屬化、晶圓碰撞、MEMS、納米線和器件薄膜沈積。VARIAN 3180支持直徑不超過200毫米的基板,並且可以持續以最大功率300W運行。它帶有一個集成的真空室,可重復和可靠的機器操作.此外，3180還包括自動化和用戶控制的一整套軟件功能，包括實時自動化過程監控和報告、可編程作業調度和任務序列控制、配方控制以及功能強大的圖形用戶界面。軟件的設計考慮到了靈活性,因此技術人員可以輕松地將新的和現有的用戶首選項設置與現有流程集成在一起。VARIAN 3180還提供對遠程控制和安全數據存儲的訪問。綜上所述，3180是一種高性能濺射工具，設計時考慮到靈活性和先進的薄膜沈積應用。集成的自動化和觸摸屏用戶界面使操作簡單高效，而其模塊化設計和綜合軟件包使VARIAN 3180成為各種薄膜沈積工藝的絕佳選擇。
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