二手 VARIAN 3180 #293759318 待售
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單擊可縮放
ID: 293759318
晶圓大小: 4"
Sputtering system, 4"
Generator
CT-8 Cryopump
8500 Compressor
DC Bias heater
Euro 808 Heater controller
Water pump.
VARIAN 3180濺射設備是一種高性能的塗層系統，旨在快速地將高重復的薄膜沈積到各種材料上。該單元采用三室設計，每個室能夠容納多個磁控管濺射源和廣泛的基板尺寸。因此，這臺機器為用戶提供了在基板之間快速切換和創建復雜多層薄膜的靈活性。該工具還具有閉環過程控制功能,可監視和調整過程參數,幫助確保生產運行期間的一致性和可重復性。這包括監控批次的能力，保證薄膜均勻且無機械缺陷。實際上,該資產具有內置診斷程序,允許用戶在操作過程中檢測異常行為,從而有助於防止缺陷和代價高昂的停機時間。該模型還能生產出腐蝕、粘附、耐磨性能優異的高純度薄膜，得益於其精確濺射和低壓等離子體增強工藝的結合。這些薄膜在光學上也是光滑的，減少了衍射和反射。濺射設備還具有不同應用的幾個真空級別，最高級別允許卓越的超高真空（UHV）塗層。最後，該系統旨在保持微粒和汙染的極低水平。它堅固的過濾單元確保進入腔室的空氣沒有汙染物，轉塔使濺射源旋轉，防止顆粒聚集到薄膜上。此功能有助於確保機器提供高純度和無缺陷的薄膜。總體而言,3180濺射工具是一種高度可靠且用途廣泛的工具,專為大批量生產和研究應用而設計。其多種特性和功能有助於確保性能一致、效果可重復、影片質量優越。
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