二手 VARIAN 3180 #293827838 待售

VARIAN 3180濺射設備，由VARIAN制造，是一種多功能的多功能系統，在平面基板上應用均勻的薄塗層。它是許多不同行業的研發的理想選擇，例如微電子、儲能和顯示器，因為它允許廣泛的材料被塗覆，包括金屬、合金、氧化物和電介質。該單元由一個堿基單元和許多其他組件組成，包括一個離子源、一個脈沖電源、一個氣體進給機和一個濺射室。離子源使用RF或DC輝光放電來產生正或負離子束，使濺射的原子種類在特定方向上定向。脈沖電源用於控制脈沖速率和脈沖寬度，有助於優化膜生長速率。氣體進料工具用於註入反應性氣體，如Argon、O2、Ar-O2或N2混合物，然後被離子束電離，引起底物額外的離子轟擊。這改善了濺射材料的機械和化學附著力，減少了基板上顆粒的汙染。濺射室能夠達到高真空條件，這對於使塗層材料穩定而均勻地沈積到基板上是必要的。基板支架是電動交換樣品，可以很容易地重新定位。資產還提供與光束的溫度、方向和圖樣、濺射沈積速率和射頻功率相關的廣泛控制參數。還可以監測和控制腔室壓力和氣體流動。為了在基板上獲得所需材料的均勻薄膜，3180濺射模型提供了極好的均勻性和可重復性。它配備了自動濺射槍，提供卓越的薄膜厚度均勻性和運行到運行的可重復性。整個基板的膜厚度均勻度在+/-0.2 μ m以內，整個樣品的典型均勻度在+/-0.5 μ m以內。這樣可以確保基材最佳地塗上所需的材料。VARIAN 3180濺射設備是一種可靠、易於使用、高效的薄膜沈積系統。它允許用戶對產量高、質量一致的基板塗抹均勻塗層。它是市場上最可靠、最靈活的濺射系統之一，非常適合一系列研發應用。