二手 VARIAN 3180 #293828248 待售
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ID: 293828248
晶圓大小: 4"
Sputtering systems, 4"
D30A Pump
(8) Cryopump
CTI CRYOGENICS 8200 Compressor
(3) Calogic gun PWR rack
Silicon Carbide (SiC).
VARIAN 3180是一種用於在多種基板上沈積薄膜的濺射設備。其設計可提供卓越的工藝控制、簡單的系統集成和卓越的薄膜厚度均勻性。3180單元能夠處理許多不同的基板，包括半導體晶片、陶瓷基板和薄膜器件。它配備了兩個射頻（RF）電源，一個13.56 MHz的濺射源和一個13.56 MHz的基板偏置匹配源。它還以鋁、金、銅、鉻、鎳等廣泛的靶材為特色。該機還可用於離子蝕刻，用於各種薄膜沈積應用。VARIAN 3180工具的真空室為不銹鋼製造，其排空體積直徑可達6-6英寸。它的緊密真空給出的基壓小於1x10-7 Torr，最大運行壓力為6x10 Torr。它采用三種獨立的工藝室配置，可選擇在同一腔室中配置多達四個磁控管。3180資產設計了一系列用戶友好的軟硬件組件，如具有實時用戶反饋的流程監控模型、流程配方管理設備以及完全集成的實時流程分析系統。其先進的冷卻劑裝置可以有效地耗電和快速控制腔室溫度。集成冷卻劑循環自動調節腔室溫度。該機旨在最大限度地減少粘附和粘附問題，並采用集成閉環反饋工具實現自動過程控制。VARIAN 3180資產能夠容納各種薄膜沈積應用的廣泛底物，具有優異的工藝控制、易於模型集成和優越的薄膜厚度均勻性。它是任何需要高精度薄膜沈積的應用的理想選擇。
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