二手 VARIAN 3180 #83199 待售

VARIAN 3180是一種理想的濺射設備，廣泛用於研究和工業應用。它是一個雙源並聯的團簇濺射系統，允許高速蒸發，腔室大，與晶圓的距離最小。該單元包括兩個獨立的物理氣相沈積源-一個可以傾斜的垂直源和一個唯一能夠垂直定位的水平源。這種創新的布置確保了濺射的最佳速度和均勻性，並允許機器進行精確調整，以實現卓越的控制和可靠性。3180濺射工具的輸出極為穩定，額定濺射速率高達5-6 nm/min。該資產還能夠濺射任何所需材料，使其適合各種應用。具有沈積從金屬到陶瓷、電阻膜和介電膜的廣譜範圍材料的能力。模型本身是為方便地訪問主要組件而設計的。它在腔室上有一個全長的側門，便於進入、監控和儀器清洗。該室還設有兩個獨立的濺射源；兩個進給口、兩個快門氣動端口和一個具有超低真空能力的動態內部快門設備。針對最小的湍流和最佳的沈積均勻性，對腔室設計進行了高度優化。該系統包括自動化過程控制、計算機模擬和數據采集，使其能夠方便地為所需的過程編程。外部控制計算機允許無人值守操作和數據傳輸。它設計用於廣泛的環境條件，包括溫度範圍從+10°C到+40°C，相對濕度從0%到50%。VARIAN 3180是那些需要可靠、高性能濺射裝置的人的絕佳選擇。該機的性能非常適合薄膜、耐介電耐磨研究、微電子器件等多項研究和工業應用。