二手 VARIAN 3180 #9004072 待售

VARIAN 3180是為現代薄膜沈積應用而設計的高速率直流濺射設備。它主要用於半導體、數據存儲、光學和工業塗料等行業。該系統采用3.4 cm3、24升真空室，非常適合塗覆小平面基板或大圓形基板，同時保持較高的加工速率。它的磁控管濺射源包括三個六硼化超LaB6和五個鎢標，功率密度高達1000 W/cm2。3180還具有一個電源模塊,能夠在0-1000伏範圍內產生各種直流（DC）偏置電壓。這允許精確調制沈積速率、能量和物理特性等材料沈積質量。作為額外的獎勵，電源提供了可移動的Fibremate目標釋放單元，用於低壓供電。該機還具有基板溫度控制選項。這是通過在沈積過程中在腔室內引入氣流輔助均勻加熱來實現的；允許均勻的低溫沈積。最高溫度範圍可從20˚C調整為400˚C。VARIAN 3180提供兩個可控的氣體管線入口,可控制沈積參數,如停留時間、流量和氣體化學。此選項使得該工具在各種薄膜沈積應用中具有令人難以置信的多功能性。最後,3180在其觸摸屏顯示屏上擁有先進的圖形用戶界面（GUI）。此GUI提供了一個用戶友好的界面,可實時監控資產性能和性能指標。GUI旨在簡化薄膜沈積過程,從而更易於確定最佳工藝參數。總體而言,VARIAN 3180濺射模型提供了多種功能和選項,旨在簡化薄膜沈積過程。該設備具有precisrDC偏置電壓能力、50W/cm2功率密度、可編程基板溫度控制以及可靠的用戶界面，是小型和大型薄膜沈積應用的理想選擇。