二手 VARIAN 3180 #9033671 待售

VARIAN 3180
製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9033671
晶圓大小: 4"
Sputtering system, 4".
VARIAN 3180濺射設備是一種超高真空等離子體應用機器,用於將金屬薄膜沈積在不同表面上。它是一臺最先進的機器,能夠比當今市場上的其他濺射系統更快、更可靠、更一致地存放薄膜。這種超高真空濺射系統利用電場,利用磁控管濺射技術,在各種材料上沈積了超細、高質量的金屬膜。該裝置利用兩個射頻電源為三個平面磁控管濺射源供電,以沈積薄膜。3180還可以容納最多兩個二極管源,用於沈積額外的材料或多層。源磁鐵組件允許在真空室內擴展磁場,以便更好地控制濺射過程。VARIAN 3180有一個三英寸乘三英寸的基座,位於真空室後面的中央開放式平臺上。這種基板支架允許各種尺寸和形狀的樣品被放置和牢固地保持沈積。它還支持高溫基板的使用,可以定制以適合任何基板的尺寸和形狀。此外,3180還配有一個底物旋轉機,以實現薄膜的最佳沈積。VARIAN 3180擁有多室離子計,使得薄膜能夠在最緊的真空水平下沈積。其低壓、主動冷卻的渦輪分子泵使真空水平達到低於5 x 10-9 torr的基本壓力。3180的自動化控制工具支持過程監控,並允許根據需要對不同的過程周期進行編程。總體而言,VARIAN 3180是一種先進、可靠的濺射資產,可幫助在各種基板上創建高質量的超薄金屬薄膜。其先進的真空模型和自動化控制器使得它成為那些尋求更快、更可靠的濺射效果的人的理想選擇。
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